纯水/冷却水用量计算器
纯水和冷却水是洁净室工艺系统的重要配套。本工具计算洁净室纯水需求量（基于工艺设备用水量和水质等级）和冷却水用量（基于冷负荷和温差）。纯水等级：RO水（电导率<10μS/cm）、EDI水（<1μS/cm）、超纯水（<0.055μS/cm）。冷却水系统包括冷水机组、冷却塔、循环水泵。冷却水循环量=冷负荷/(温差×比热)。补充水量=蒸发量+排污量+飞溅损失。准确估算水用量对水系统设计和运行成本控制至关重要。
计算公式
参考标准
- GB 50073-2013 洁净厂房设计规范
- GB/T 11446 电子级水标准
- GB 50050-2017 工业循环冷却水处理设计规范
常见问题
1. 洁净室纯水分几个等级？ +/-
常见纯水等级：1)RO水（反渗透水，电导率<10μS/cm）适用于一般清洗；2)EDI水（电去离子水，<1μS/cm）适用于精密清洗；3)超纯水（UPW，<0.055μS/cm=18.2MΩ·cm）适用于半导体制造。不同工艺对水质要求不同。
2. 冷却水温差一般取多少？ +/-
冷却水供回水温差一般5-7°C，常用5°C（供水32°C/回水37°C）。温差越大循环量越小，但换热温差减小。冷冻水温差一般5°C（供水7°C/回水12°C）。
3. 冷却塔补充水量怎么算？ +/-
补充水量=蒸发损失+排污损失+飞溅损失。蒸发损失≈循环水量×温差/600；排污损失≈蒸发量/2（取决于水质和浓缩倍数）；飞溅损失≈循环量×0.2%。总补充量约为循环量的1.5%-2.5%。
4. 洁净室纯水系统RO+EDI怎么配置？产水率怎么算？ +/-
RO+EDI是洁净室最常用的纯水制备工艺。RO（反渗透）去除90%-99%的离子和有机物，产水电导率<10μS/cm；EDI（电去离子）进一步去除离子，产水电导率<1μS/cm（可达0.055μS/cm=18.2MΩ·cm超纯水）。回收率：RO单级回收率约70%-75%，二级RO+EDI系统总回收率约60%-70%。产水率=产水量/原水量×100%，如原水100m³、产水65m³=65%。废水含高浓度盐类33m³需处理排放。设计时需考虑预处理（砂滤+碳滤+软化）和消毒（UV/臭氧）环节。
5. 纯水管道用什么材质？为什么不能用碳钢管？ +/-
纯水管道不能用碳钢管（会生锈污染纯水），需根据纯水等级选材：1)超纯水（UPW，电阻率≥18MΩ·cm）必须用PVDF（聚偏氟乙烯）或高洁净PVC-C，管道连接用红外熔接或热熔连接，避免使用化学胶水（会析出TOC污染）；2)EDI水/RO水可用304/316L不锈钢管（经电解抛光处理），管道内壁表面粗糙度≤Ra0.4-0.6μm；3)也可用洁净PVC-U/PVC-C。纯水管道最怕微生物污染和TOC（总有机碳）超标，因此材质和施工要求远高于普通水管。
6. 开式冷却塔和闭式冷却塔在洁净室中怎么选？ +/-
洁净室优先推荐闭式冷却塔（Closed Circuit Cooling Tower）或闭式干冷器。原因：1)闭式冷却塔水质封闭循环、不接触外界，冷却水洁净度可控，不容易产生水垢和藻类堵塞设备；2)开式冷却塔水直接接触空气，容易吸入灰尘、滋生军团菌和藻类，需做严格水处理；3)闭式冷却塔环境友好（无飞溅水损失和蒸发雾），适合建在屋顶或邻近洁净室的区域。缺点：闭式冷却塔价格是开式的1.5-2倍，占地略大。大型洁净室（>3000冷吨）也可用开式塔+板式换热器间接冷却方案。