换气次数 / 过滤器选型 / 压差设计 / 制冷量 / 新风量 / 尘源发尘 / 自净时间 / 截面风速 / 回风排风 / 湿负荷 / 风机选型 / 等级对照,洁净行业从业者都在用的专业计算平台
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V = L × W × H;Q = V × N(N 为换气次数)
n = ⌈Q ÷ q额定⌉;面风速 v = Q ÷ (3600 × A),合理范围 0.3~0.5 m/s
Q = 0.827 × A × √ΔP × 3600(m³/h)
悬浮粒子最大浓度限值(颗/m³),ISO 14644-1 与 Fed Std 209E 对照。点击行可高亮。
| ISO 等级 | Fed 209E | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥1μm | ≥5μm | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO 1 | — | 10 | 2 | — | — | — | — | 极大规模集成电路 |
| ISO 2 | — | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — | 超大规模集成电路 |
| ISO 3 | Class 1 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — | 半导体光刻 |
| ISO 4 | Class 10 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | — | 半导体制造 |
| ISO 5 | Class 100 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 无菌制剂/层流罩 |
| ISO 6 | Class 1,000 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 无菌灌装背景 |
| ISO 7 | Class 10,000 | — | — | — | 352,000 | 83,200 | 2,930 | GMP D 级/普通洁净 |
| ISO 8 | Class 100,000 | — | — | — | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | GMP E 级/包装 |
| ISO 9 | — | — | — | — | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 一般空调环境 |
ISO 14644-1:2015 与 GB 50073-2013 悬浮粒子浓度限值整理,高亮行为洁净工程常用等级。GMP 等级(A/B/C/D)与 ISO 的对应关系需结合药典具体判定。
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